一、 功能及技術(shù)指標(biāo) 1 ）該標(biāo)準(zhǔn)裝置可以開(kāi)展 ： JJF 1062-1999 電離真空計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范 JJF 1050-1996 工作用熱傳導(dǎo)真空計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范 JJG 932-1998 壓阻真空計(jì)檢定規(guī)程 JJF 1062-2022 電離真空計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范...
一、功能及技術(shù)指標(biāo)
1）該標(biāo)準(zhǔn)裝置可以開(kāi)展：
JJF 1062-1999 電離真空計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范
JJF 1050-1996 工作用熱傳導(dǎo)真空計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范
JJG 932-1998 壓阻真空計(jì)檢定規(guī)程
JJF 1062-2022 電離真空計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范（電離真空計(jì)新規(guī)范23年實(shí)行）
JJG 882-2019 壓力變送器檢定規(guī)程（絕壓壓力變送器）等規(guī)程、規(guī)范的校準(zhǔn)業(yè)務(wù)。
2）技術(shù)指標(biāo)
1．型號(hào)：WCZK12-02
2．測(cè)量范圍：（1~10000）Pa
3．電源：AC220V±10% 50HZ
4．功率：300W
5．控制電壓：DC24V
6．工作環(huán)境：（15~35）℃ 50%RH 以下
7．測(cè)量范圍：（1~10000）Pa
3）技術(shù)指標(biāo)
序號(hào) | 校準(zhǔn)范圍 | 最大允許誤差/準(zhǔn)確度等級(jí)/不確定度 | 原理 | 壓力穩(wěn)定性能 |
1 | 105Pa～1×10-1Pa | 不大于：5% rdg.. | 靜態(tài)比對(duì)（低真空） | ＜1%/min |
2 | 1×10-1Pa～1×10-4 | 不大于：±10% rdg. | 動(dòng)態(tài)比對(duì)（高真空） | ＜1%/min |
二、具體參數(shù)
1）中低真空標(biāo)準(zhǔn)器：電容薄膜真空計(jì)
2）高真空標(biāo)準(zhǔn)器：電離真空計(jì)，
測(cè)量范圍：（1×103～2×10-6）Pa；精度：±10%rdg
高真空校準(zhǔn)室尺寸：球形真空室內(nèi)徑ф350mm,體積大約為30.5L。
中低真空校準(zhǔn)室：球形真空室內(nèi)徑ф250mm,體積大約為10L
3）校準(zhǔn)室：校準(zhǔn)室為雙球真空室，其中高低真空校準(zhǔn)室分離，雙高真空系統(tǒng)
4）高真空校準(zhǔn)室尺寸：球形真空室內(nèi)徑ф350mm,
5）中低真空校準(zhǔn)室：球形真空室內(nèi)徑ф250mm
6）極限真空：高真空部分： 上球室優(yōu)于2×10-6Pa；下球室達(dá)到1×10-6 Pa；
中低真空部分：校準(zhǔn)室優(yōu)于5×10-4 Pa。
7）高真空校準(zhǔn)室烘烤溫度：（室溫-200℃）可任意設(shè)定
8）烘烤溫度：室溫-200℃)可任意設(shè)定
9）閥門(mén)：主閥為超高真空插板閥；
10）泵：主泵為分子泵
11）球型校準(zhǔn)室和管道不銹鋼材料均為304或316L，并且對(duì)整體材料進(jìn)行電拋光處理.
12）裝置結(jié)構(gòu)和裝置外形尺寸
13）主機(jī)一臺(tái)，出具省級(jí)以上計(jì)量單位的溯源證書(shū)，提供上門(mén)安裝培訓(xùn)服務(wù)
真空應(yīng)用技術(shù)優(yōu)勢(shì)，精確的數(shù)據(jù)處理能力；
三、功能特點(diǎn)
1）真空穩(wěn)定性能突出，100Pa以下優(yōu)于2%，100Pa 以上優(yōu)于 1%；
2）同時(shí)可檢測(cè) 4~8 個(gè)傳感器，被檢傳感器之間互不影響；
3）整機(jī)尺寸小，可快速分離真空艙，保障整套裝置運(yùn)輸；
4）配置有信號(hào)輸入輸出接口，便于在線檢測(cè)傳感器以及讀取標(biāo)準(zhǔn)傳感器信號(hào)
5）供電電源 220V±10%；
6）檢測(cè)效率高，任一真空值之間穩(wěn)定時(shí)間約（1~10）min，大部分測(cè)量點(diǎn)可以保證 2min 內(nèi)穩(wěn)定；
7）不需其他任何裝置即可正常工作（不需要外接氮?dú)猓?/span>
8）復(fù)雜環(huán)境下可正常工作；
9）設(shè)備尺寸：（600*600*1400）mm；重量：約400斤
PLC操作界面
四、 系統(tǒng)設(shè)計(jì)
1標(biāo)準(zhǔn)器具
a)低真空部分: 真空采用4只電容薄膜規(guī)。
b）主標(biāo)準(zhǔn)器：高真空部分采用SmartFB-A,此標(biāo)準(zhǔn)器采用國(guó)際共認(rèn)最高精度Thyracont的熱陰極全量程電離真空計(jì)VSH89D。測(cè)量范圍（1×103～1×10-7）Pa,該真空計(jì)精度為±10%rdg.基礎(chǔ)上進(jìn)行獨(dú)立校準(zhǔn)數(shù)據(jù)修正，將真空示值誤差控制在±10%rdg.。上級(jí)計(jì)量單位溯源范圍（1～1×10-4）Pa。 該標(biāo)準(zhǔn)器原理和MKS 370GP一致，可以保證送檢量值的可靠性，同時(shí)避免被卡脖子，可以提供長(zhǎng)期質(zhì)保（三年）。
2校準(zhǔn)室基本配置
采用高低很空校準(zhǔn)室分離，雙高真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)?？梢员Ｕ细哒婵招?zhǔn)室嚴(yán)格按照動(dòng)態(tài)比對(duì)法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置的要求，最大程度接近理想狀態(tài)。實(shí)現(xiàn)最佳壓力值的穩(wěn)定性。中、低真空校準(zhǔn)是室按照低真空校準(zhǔn)要求設(shè)計(jì)，操作便捷，適于開(kāi)展校準(zhǔn)工作為特點(diǎn)。同時(shí)采用兩套單獨(dú)的高真空系統(tǒng)，有利于操作簡(jiǎn)單和保證系統(tǒng)的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)。
超高真空校準(zhǔn)室采用雙球真空室。主泵采用美國(guó)KYKY的FF-160C系列分子泵。中、低真空校準(zhǔn)室采用KYKY公司的FF100/150，該分子泵操作方便，經(jīng)久耐用。主閥采用川北的超高真空插板閥，便于系統(tǒng)充氣以及高真空的保持，同時(shí)可以切換對(duì)低真空校準(zhǔn)室抽氣。前級(jí)真空泵采用BAOS的GSP-3 無(wú)油渦旋真空泵，噪音低極限真空好。監(jiān)測(cè)規(guī)采用上國(guó)光或正華公司生產(chǎn)的ZJ12 B-A規(guī)，測(cè)量范圍10-2～10-8pa。中低真空監(jiān)測(cè)規(guī)采用ZJ-27測(cè)量范圍1～5×10-6pa。
3校準(zhǔn)室基本結(jié)構(gòu)
真空室為雙球真空室，為保證穩(wěn)壓室給校準(zhǔn)室進(jìn)氣的均勻度，在校準(zhǔn)室上方裝有散流孔。上下真空室之間用金屬密封法蘭連接，中間有限流小孔。上下校準(zhǔn)室赤道上各備有5-7個(gè)DN40CF法蘭接口，（任意兩個(gè)法蘭通過(guò)球心直線互不相對(duì)，錯(cuò)開(kāi)一定的角度，避免校準(zhǔn)時(shí)的參數(shù)相互影響。）用來(lái)接被校規(guī)、比對(duì)規(guī)和四極質(zhì)譜等。用EDWARDS微調(diào)閥對(duì)校準(zhǔn)室進(jìn)行壓力控制。同時(shí)還可以通過(guò)小孔c1控制前級(jí)壓力的來(lái)計(jì)算校準(zhǔn)室壓力。
在下球室底部裝有CF150法蘭與主泵連接。分子泵與前級(jí)真空泵之間通過(guò)電磁閥用波紋管連接。在分子泵、前級(jí)真空泵之間安裝真空規(guī)，對(duì)前級(jí)壓力監(jiān)測(cè)。
4中、低真空校準(zhǔn)室基本配置
中、低真空校準(zhǔn)室為球形真空室，內(nèi)徑ф250mm，體積10L。主閥采用手動(dòng)閘板閥，通過(guò)手動(dòng)微調(diào)閥控制校準(zhǔn)室壓力，實(shí)現(xiàn)熱傳導(dǎo)真空計(jì)的校準(zhǔn)以及給高真空校準(zhǔn)室提供穩(wěn)壓氣源。中低真空監(jiān)測(cè)規(guī)采用復(fù)合真空計(jì)，電離規(guī)ZJ-27，測(cè)量范圍10-1～5×10-6Pa。
5測(cè)量和控制系統(tǒng)
采用PLC控制，觸摸屏顯示真空系統(tǒng)，溫度真空度等。管道閥門(mén)采用電氣動(dòng)閥門(mén)，真空系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)和手動(dòng)兩種控制模式。通過(guò)水壓繼電器對(duì)冷卻水壓力進(jìn)行監(jiān)控。可根據(jù)用戶要求實(shí)現(xiàn)計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)采集，原始記錄自動(dòng)生成等功能軟件開(kāi)發(fā)。
定州加熱套，加熱烘烤系統(tǒng)采用溫度可控。穩(wěn)壓室、上游室和下游室溫度可監(jiān)測(cè)。
五、校準(zhǔn)室材料及處理
1 材料
球形校準(zhǔn)室以及管道材料采用304或316L。
2 焊接和真空熱處理
采用自熔氬弧焊進(jìn)行焊接，球形校準(zhǔn)室在焊接前先清洗，確保超高真空的焊接要求。能夠采用內(nèi)焊的全部采用內(nèi)焊。腔體焊接后在高真空燒氫爐內(nèi)燒氫處理。
3 清洗
校準(zhǔn)室及穩(wěn)壓室在焊接、氦質(zhì)譜檢漏全部完成后，全部零部件先進(jìn)行超聲波清洗以及電拋光。
六、配件及其它
除進(jìn)口閥門(mén)外采用川北真空的產(chǎn)品，校準(zhǔn)室的極限真空度由B-A規(guī)測(cè)量，并驗(yàn)收。本公司提供全套真空設(shè)備操作和鑒定員的培訓(xùn)。并長(zhǎng)期提供最專(zhuān)業(yè)的技術(shù)和設(shè)備支持。
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